低ガス性フッ素ゴム

従来のフッ素ゴムは、不純物が下記の表のように混在しておりました。
今回、フッ素ゴムの改良により、ガス量を抑えたフッ素ゴムを安価にてご提供できるようになり、半導体装置への低ガス要求にもお答えし、ご使用が可能となりました。

※上記の数値は測定値であり、保証値ではありません。
※プラズマエッチングには、ご使用できません。